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半導(dǎo)體制造過程中每一個(gè)環(huán)節(jié)都需要許多閥門和配套的解決方案，真空和氣流的 高精度控制與隔離在半導(dǎo)體制造中至關(guān)重要，所有閥門都要保證在高循環(huán)次數(shù)及精確的可重復(fù)性。精確性主要體現(xiàn)在在規(guī)定時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)精確的體積流動，實(shí)現(xiàn)一致、可靠的密封。
從分類看，半導(dǎo)體閥主要包括隔膜閥，波紋管閥，真空閥，球閥，蝶閥，門閥，角閥，特氟龍閥門和其他，其中真空閥為主要的半導(dǎo)體閥類型，根據(jù) QYR 數(shù)據(jù)，2020 年全球共消費(fèi)了 82.36 萬個(gè)真空閥，約占全球半導(dǎo)體閥市場的33.66%。
目前，半導(dǎo)體等領(lǐng)域的高純氣路管閥件的生產(chǎn)制造核心技術(shù)主要掌握在日本、美 國、瑞士等國家，國內(nèi)目前生產(chǎn)的衛(wèi)生級閥件主要用于食藥，以及部分半導(dǎo)體領(lǐng)域，但與進(jìn)口閥件存在較大差距。
目前，全球主要的半導(dǎo)體閥生產(chǎn)企業(yè)包括瑞士VAT、派克（Parker）、富士金（Fujikin）、CKD、世偉洛克、MKS、SMC Coporation、GEMÜ，Entegris 和 Festo 等。
根據(jù) QY Research 數(shù)據(jù)，2020 年全球半導(dǎo)體閥市場營業(yè)額約為 12.3 億美元，并預(yù)計(jì)到 2027 年將達(dá)到 19.6 億美元，2021-2027 年復(fù)合增長率約為 6.07%。此外，2020 年，排名前三的半導(dǎo)體閥件廠商約占整個(gè)市場的 64%，呈現(xiàn)較高的集中度。
其中，VAT的營業(yè)額達(dá)539.94百萬美元，占全球半導(dǎo)體閥總市場的 43.88%，其次 是派克，2020 年半導(dǎo)體閥營業(yè)額為 136.93 百萬美元，市占率約為 11.13%。
瑞士 VAT 成立于 1965 年，是全球領(lǐng)先的高性能高端真空閥，多閥模塊，邊焊波 紋管及相關(guān)增值服務(wù)的開發(fā)商，制造商和供應(yīng)商。該公司專注于設(shè)計(jì)和生產(chǎn)用于 半導(dǎo)體，顯示器和太陽能電池板制造的真空閥，以及一系列工業(yè)和其他研究應(yīng)用。根據(jù)立鼎產(chǎn)業(yè)研究網(wǎng)數(shù)據(jù)，VAT 在半導(dǎo)體真空閥領(lǐng)域市占率超過 65%。
美國派克漢尼汾（Parker）成立于1938 年，是全球運(yùn)動和控制領(lǐng)域、產(chǎn)品種類zui完備的公司,是weiyi一家為客戶提供液壓、氣動和機(jī)電一體化運(yùn)動控制方案的 制造商。公司致力于提供yiliu的產(chǎn)品及用戶服務(wù)，為各種汽車、工業(yè)和航空市場 提供精確設(shè)計(jì)的解決方案。
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